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半導体・液晶前工程向けMESソリューション「VCIM-SEM」

「VCIM-SEM」は、半導体、液晶、太陽電池、LEDなど、ウェハやガラス基板を加工する前工程向けソリューションです。機能単位での導入や、後からのアドオン、統合も可能です。

工程管理

ロット単位／ワーク単位で製品の投入から完成までに至る工程進行状況をトラッキングし、ライン全体の詳細な工程実績情報を把握するシステムです。半導体前工程ライン向けに開発されたシステムであり、複雑でフレキシブルな製品流動に対応するための機能が多数あります。

  1. ロット編成
    受入れた主材料からロットを構成し、ラインへ投入します。
  2. 工程処理
    ロット、ワークの各工程での作業開始／完了を登録しますバッチ処理や枚葉処理の工程にも対応しています。PDAとWebブラウザを利用した入力も可能です。
  3. イベント処理
    ロットの分割／合流、リワーク、ホールド設定／解除など想定される各種イベント処理実績を登録します。
  4. 参照画面
    ロット、ワークの工程実績履歴や、現在の工程仕掛状況を画面表示します。

装置通信管理

装置オンライン化により、リアルタイムで装置情報を把握します。

  1. 各種通信ドライバを所有 VCIM-ECD
    • SEMI（*）規格準拠：SECS、HSMS、GEM
      通信：MELSEC、OMRON、他
    • 装置メーカー固有の通信方式：ファイル収集、制御　個別対応可能
    • 対応PLC
      対応機種
      プロトコル 対応PLC
      MCプロトコル 三菱社製 MESCEC/F/A/Q/Riシリーズ
      KEYENCE社製 KVシリーズ
      FINSコマンド オムロン社製 SYSMAC CA/CJシリーズ
      コンピュータリンクコマンド JTEKT社製 TOYOPUCシリーズ
      タスクコード 日立産機社製 EHVシリーズ
      Modbus/TCP Modbus/TCP対応の全機種

      ※OPC、Ethernet/IP、PROFINETについてはカスタム対応します。

  2. リアルタイムな装置稼働状態モニタリング
  3. アラーム発生／解除報告、装置プロセスデータの収集
  4. レシピ名ダウンロードと処理スタート指示も可能（SEMI方式）
*
SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）は、半導体・FPD・ナノテクノロジ・MEMS・太陽光発電・その他関連技術の製造装置・材料・関連サービスを提供している企業の国際的な工業会です。

装置保守管理

装置の保守点検やメンテナンスに関する情報を管理することで、保守工数の削減や装置安定稼働のための活動をサポートします。

  1. 装置の保守点検やメンテナンスの予定と実績の管理
  2. 保守点検項目ごとの規格設定と合否判定
  3. 実績情報を参照する画面機能
  4. 携帯性を重視してPDAや携帯端末の利用も可能

品質管理（検査データ管理）

各種検査装置・計測機器で測定したデータを収集し、検査規格に基づく合否判定を実施します。
管理グラフなどの表示により見える化をサポートいたします。

  1. 測定データ収集機能
    • VCIM-ECC 連携によるオンライン自動収集
    • VCIM-TRK 画面からのキー入力
  2. 検査規格に基づく自動合否判定
  3. リアルタイムな不良発生状況のモニタリング

品質管理（SPC傾向判定）

シューハート管理図（JIS Z 9021）に則った8種類の異常判定ルールを使用し、データのバラツキや傾向を判定することで、不良発生の未然防止を支援します。

ルール

  1. 管理限界
    1点がエリアAを超えている
  2. 連
    連続する9点が中心線に対して同じ側にある
  3. トレンド
    連続する6点が増加、又は減少している
  4. 交互増減
    連続する14の点が交互に増減している
  5. 限界線接近
    連続する3点中、2点がエリアA又はそれを超えた領域にある
  6. 1σ
    連続する5点中、4点がエリアB又はそれを超えた領域にある
  7. 中心化傾向
    連続する15点がエリアCに存在する
  8. 連続1σ外
    連続する8点がエリアCを超えた領域にある
  9. 連続1σ外
    連続する8点がエリアCを超えた領域にある

発生した異常に対応するコマンドは個別に定義可能です。ただし、コマンド自体は別途作成する必要があります。

例

  1. ××工程の異常は○○さんへメール配信する
  2. △△装置で異常が発生したら該当装置への製品着工ストップ指示を出す

搬送管理

AGVなどの自動搬送車やストッカに対してキャリアの搬送指示をオンラインで発行し、工程内&工程間の自動搬送を実現します。

  1. 自動搬送車に対するキャリアの搬送指示
  2. ストッカへのキャリア入出庫指示
  3. 対象ストッカ満杯時の代替ストッカへのキャリア一次退避
  4. 空キャリアの自動供給、自動回収
  5. ライン運用継続を最優先するための各種障害への対応
  6. 全自動搬送を実現する生産実行機能オプションも有り

仕様管理

設計者が現場へ指示する製造仕様情報をデータベース化し工程管理システムとの連携を図ることで、作業ミスの低減や仕様情報の共有化、エンジニアリング業務の効率向上を狙ったシステムです。試作ラインなど、多品種少量生産で仕様変更が多発する製造現場で効果を発揮します。

  1. 製造工程フローや作業条件指示の作成・変更、審査・承認
  2. デジタル化した製造仕様情報のデータベースによる一元管理バージョン／レビジョン、来歴管理
  3. 工程管理システムと連携したライン内へのオンライン作業指示

商標注記

  • VCIMは、（株）日立ソリューションズ・テクノロジーの登録商標です。

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