「VCIM-SEM」は、半導体、液晶、太陽電池、LEDなど、ウェハやガラス基板を加工する前工程向けソリューションです。機能単位での導入や、後からのアドオン、統合も可能です。
ロット単位/ワーク単位で製品の投入から完成までに至る工程進行状況をトラッキングし、ライン全体の詳細な工程実績情報を把握するシステムです。半導体前工程ライン向けに開発されたシステムであり、複雑でフレキシブルな製品流動に対応するための機能が多数あります。
装置オンライン化により、リアルタイムで装置情報を把握します。
プロトコル | 対応PLC |
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MCプロトコル | 三菱社製 MESCEC/F/A/Q/Riシリーズ KEYENCE社製 KVシリーズ |
FINSコマンド | オムロン社製 SYSMAC CA/CJシリーズ |
コンピュータリンクコマンド | JTEKT社製 TOYOPUCシリーズ |
タスクコード | 日立産機社製 EHVシリーズ |
Modbus/TCP | Modbus/TCP対応の全機種 |
※OPC、Ethernet/IP、PROFINETについてはカスタム対応します。
装置の保守点検やメンテナンスに関する情報を管理することで、保守工数の削減や装置安定稼働のための活動をサポートします。
各種検査装置・計測機器で測定したデータを収集し、検査規格に基づく合否判定を実施します。
管理グラフなどの表示により見える化をサポートいたします。
シューハート管理図(JIS Z 9021)に則った8種類の異常判定ルールを使用し、データのバラツキや傾向を判定することで、不良発生の未然防止を支援します。
発生した異常に対応するコマンドは個別に定義可能です。ただし、コマンド自体は別途作成する必要があります。
AGVなどの自動搬送車やストッカに対してキャリアの搬送指示をオンラインで発行し、工程内&工程間の自動搬送を実現します。
設計者が現場へ指示する製造仕様情報をデータベース化し工程管理システムとの連携を図ることで、作業ミスの低減や仕様情報の共有化、エンジニアリング業務の効率向上を狙ったシステムです。試作ラインなど、多品種少量生産で仕様変更が多発する製造現場で効果を発揮します。